明日的记忆 发表于 2011-8-31 10:26:46

还原炉进气和尾气的温度

还原炉进气为三氯氢硅和氢气，温度大概为130度，尾气预热进气以后排出的温度是多少啊？

oceans998 发表于 2011-8-31 11:02:20

回复 2# oceans998
    这么说吧，我想知道排出尾气进入下一工序的温度，大致数值就行，即尾气出还原炉系统的温度，因为要根据尾气温度来确定冷却水的用量。
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