zjc156 发表于 2010-6-19 14:57:06

硅芯清洗要求

从理论来说，硅芯清洗一般硝酸：氢氟酸=5：1，反应机理为硝酸氧化后得二氧化硅，然后用氢氟酸溶解，当然两者互相催化的。如果硝酸过量，洗完后会不会表面产生一层氧化物，对还原炉沉积硅有影响？讨论一下！
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jianghwing123 发表于 2011-9-9 16:07:06

个人认为有，如果过量硅芯表面肯定还有斑点。
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