jijixiangshang 发表于 2010-7-13 18:10:59

还原炉启炉比较

高压启炉、卤素灯启炉、碳棒启炉三者各有什么优劣?
1.高压启炉比较耗电,危险性较高,对电器设备要求较高,但高压启炉对质量较好,节省置换时间和启炉时间。
2.卤素灯启炉对质量有一定影响,启炉时间和置换时间较长,但危险性较低,启炉较省电。
3.碳棒启炉较省电,比较安全,但碳棒启炉引入碳杂质,对多晶硅质量有一定影响,一旦倒炉硅棒污染更加严重。
各位大虾,我说的是否正确呢?请补充一下吧!

287789398 发表于 2011-9-12 13:49:45

各有优缺点,高压启炉耗电,但也容易引起倒炉。
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