hemin882 发表于 2011-9-19 20:15:26

含氧量测定

请教,各位前辈,多晶硅生产中,管道内的含氧量和水分一般控制多少ppm是合格的?

misszhangling 发表于 2011-9-20 08:48:55

含氧量在1%以下就合格,不过一般都小于10ppm,水分用露点表示一般小于-55摄氏度

hemin882 发表于 2011-9-20 18:37:00

非常感谢楼上回答!谢谢
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