zwd7710615 发表于 2011-9-20 21:30:58

HCl的 处理

请教大家,多晶硅生产中产生的HCl气体你们都是怎样处理的?

yzhang2010 发表于 2011-9-20 22:19:46

回收利用,用来和硅粉反应合成TCS。

zwd7710615 发表于 2011-9-20 22:22:01

再补充一个问题,R507的制冷温度是多少?它的制冷温度可与R-744相媲美吗?
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