王泽文 发表于 2011-9-27 16:21:51

还原炉启炉后地盘很脏的问题

各位大侠好！共同讨论一下：我们公司还原炉启炉地盘都很脏，我发现只要硅棒直径不超过110mm，启炉后地盘都比较干净，而再超过此直径启炉后地盘都很脏！是不是由于硅棒直径超过110mm后炉内空间减小，在不减量的情况下，导致炉内气流流动过快，使得硅的沉积不稳所致！望各位大侠参与探讨！

巴赫 发表于 2011-9-27 23:55:46

可能是由于雾化导致的硅粉沉积，适当调大配比应该有作用吧
页: [1]
查看完整版本: 还原炉启炉后地盘很脏的问题