还原氢气中硼磷杂质的测定

287789398 发表于 2011-9-21 23:21:42

在供往还原车间的氢气当中，有没有可能含有B、P等杂质？
这些杂质通常以何种状态存在？
如何测定？
知道的坛友帮忙顶一下！！！！！

小刘试大刀 发表于 2011-9-22 08:09:44

个人觉得没有可能，原因是通入还原的氢气无非两个来源，一是电解制氢气，二是回收还原氢气，所以进入还原炉的氢气可能含有氯化氢，但是不应该有B，P等杂质。

287789398 发表于 2011-9-22 12:26:10

回复 2# 小刘试大刀
电解制氢过程中，电解槽碱液中的杂质能不能随氢气进入系统，这个据生产经验来看，可能性不大。
主要是干法回收氢气，这个有没有就不好说了。

axe_dh 发表于 2011-9-22 13:55:44

同问同求 .........

yzhang2010 发表于 2011-9-22 14:42:46

回收氢里应该是有B、P的，尤其是活性炭吸附塔运行的不是很好的话。
存在形式，额，不知道，猜测可能是PH3/PCL3、BH3/BCL3。

小刘试大刀 发表于 2011-9-22 16:26:15

如果说有可能的话，也是回收氢气中含有极少量的氯硅烷中含有B、P杂质！

287789398 发表于 2011-9-24 13:41:25

在还原炉所排放出来的尾气中含有沸点与DCS非常接近的磷化合物杂质。经过反歧化后这个含磷的杂质又会转换成与TCS沸点相接近的另一种磷化合物，很难分离出去。这个杂质随着TCS气体进入还原炉后，有相当一部分量会在硅棒上沉积，从而影响多晶硅的品质。

287789398 发表于 2011-9-24 13:46:22

活性炭吸附柱饱和后，这些杂质就随氢气进入还原炉了。
关键问题是这些杂质不知怎样测定

287789398 发表于 2011-9-28 12:38:04

回收氢气中确实含有极少量B、P杂质

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