xuelangpk
发表于 2009-3-4 13:49:37
CVD尾气回收过程中，从提纯出来的氢气产品纯度是如何分析测定的，请教各位侠？
zsyd1980
发表于 2009-3-7 23:23:06
以在线的方式来测量不管是GC还是MS效果都不会很好，而且费用也太高，最主要是你们有这样高水平的维护人员吗？和谐社会所说的外标法你自己细想想;那样可行吗？会准确吗？
SHANGCHUAN
发表于 2009-3-10 16:11:20
回收氢气纯度可以用色谱进行分析CO,CO2等，O2用电化学，H20可用teledyne或者GE的，N2检测这个点由于要考虑防爆，现在我知道的发射发光法都没有防爆认证。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-3-20 17:03 编辑 ]
feiquan9295
发表于 2009-3-20 14:43:29
尾气回收氢气组分比较复杂，一般采用在线气相色谱，厂家对BCl3、PCl3也处于探索阶段，期待大家共同探讨^_^
dengli6656
发表于 2009-3-23 12:09:18
检测不出来哦，你们哪的，还要检测回收氢？
zhangwh
发表于 2009-3-25 22:26:05
在线检测一般是分析不出来的，因为多晶硅尾气的波动性很大，而且硼磷含量低，还没有那么高的精度在线检测仪器；一般是定期取样后由化验室或指定检测部门进行检测，有质谱和色谱检测方式。
jeffhxi
发表于 2009-4-2 14:24:12
普遍都是用气相色谱检测气体，在线分析相当不准。而B、p在气相中没有什么好办法分析。
xjw3721
发表于 2009-4-5 10:28:41
液相中一般质谱分析就可以了，我们这在回收氢气中还无法分析B,P含量。
其实只要在原料提纯中控制好就可以了，毕竟原料是杂质的来源么
过程监控主要考虑突发事故，比如含碳量、氮的变化。
kuristying-1
发表于 2009-4-5 16:28:41
用气相质普仪检测的精度比用ICP搞多了