pksinixu 发表于 2011-10-7 09:36:54

SiCl4后续处理

SiCl4残液处理问题已经成为多晶硅i企业发展的瓶颈，目前对于SiCl4的处理目前有以下几种方法：
1.水解。缺点是处理量小，且对水质有较强的污染性，市场对水解出的二氧化硅需求量不大。
2.经提纯后回氢化或合成系统。由于残液较稠，处理时容易造成设备管道赌塞，且长时间会造成系统金属离子富集。
3.经过处理生成有机硅或环氧氯硅烷。
请各位对此问题补充，讨论。

lgl102110 发表于 2011-10-7 10:28:31

生产白炭黑啊，很多企业都是这么做的
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