123123l 发表于 2009-9-4 21:39:33

三氯氢硅合成生产中流化床带出细硅粉的粒径范围是多少?

三氯氢硅合成生产中流化床带出细硅粉的粒径范围是多少?

zjiris 发表于 2009-9-4 21:49:55

这个要看你合成炉的参数了,合成炉上端扩大端及设计气速决定了的,这个在设计的时候应该会给出的吧,从而好进行后端设计

tcs1789@163.com 发表于 2009-9-5 14:35:23

这个主要由通入的氯化氢气体的气速和生成的三氯氢硅产量来决定的,产量大,带出的硅粉就多,颗粒就大,此外一设备的高度和设备的扩大段分离的能力有很大的关系,设备结构合理,带出的就少,硅粉的收率就高,

qiaoshuang888 发表于 2009-9-17 15:07:11

反应时应用的硅粉粒径多大呀?有什么要求?

ulsgh 发表于 2009-9-17 16:48:56

这个问题我也同问?

ranbow 发表于 2010-9-25 11:40:12

30目到150目范围的硅粉最好

zhangweicheng 发表于 2010-9-25 20:41:41

80目左右的硅粉,我们这里一般用

cxy721225 发表于 2010-10-6 10:04:18

那还要看设备的直径,高度,扩大部分的分离能力才能确定带出的硅粉有多少

xiaoshimin521 发表于 2010-11-26 20:29:19

以我三年的经验看,粒度在200目靠上

阳光媚 发表于 2010-11-27 09:32:42

楼上的看到的是过滤器中留下来的硅粉粒度
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