taiyang-hchg 发表于 2009-3-3 15:28:24

多晶硅还原炉的电源工作原理

还原工作原理
功率调节柜投入工作以后，还原炉就算正式进入还原生长环节为了。这是一个时间长，耗电大，成本高的过程，从填料开机到出成品硅棒至少也得几天的时间，在这期间任何一个环节出了问题都将前功尽弃，高额的费用也将付之东流。而且多晶硅的生长用电量可观，因此解决可控硅的可靠性问题、功率因数问题以及谐波污染等问题，都成了制约生产的关键所在。为了解决功率因数问题，电源变压器和功率调节柜采用了多级分档的办法，分的档越细，上下档之间的电压差越小，可控硅调节的移相角α也越小。移相角α越小，功率因数越高，谐波污染越小，移相角α越大，功率因数越低，谐波污染也越大，参见下图。
但档位也不能分的太多，否则成本太大，也没必要，一般分为6—8档。变换档位作为粗调控制，可控硅调α角作为细调控制，最终使加热电源在运行过程中能平稳精确控制，并使平均功率因数达到0.9以上的规定范围内。
以上谈的是调压工作模式，如果转换成调幅工作模式，一切问题就迎刃而解了，调幅工作模式控制的是电压的大小高低，无论何时都是完整的正弦波，α角始终是零，因此功率因数是1，谐波含量为0。当然这里调幅波的产生是通过电源变换和合而成的。示意波形如下图所示。

SSSSS 发表于 2009-3-4 12:05:14

老兄呀，图呢？

304788583 发表于 2009-6-8 15:08:51

图呢？大师

ctldgs 发表于 2010-3-5 16:28:51

是个方向，有待研究讨论。谢谢！

feiyun2010 发表于 2010-3-5 22:48:50

不懂，学习学习。

xishanjiaolong 发表于 2010-3-6 10:32:04

图，看不见啊！！！

wangwei-spy 发表于 2010-3-7 10:05:54

有图么？不懂学习学习

wei8jun 发表于 2010-5-18 11:53:50

不明白，多传些资料啊

jeffhxi 发表于 2010-5-18 12:59:15

不过好像国外的电源控制没有这么复杂吧

地狱使者 发表于 2010-5-26 23:03:13

目前的还原炉电源基本都是德国AEG提供的。它控制的档位就四个档位！整个控制过程中也有谐波产生但是总体来说是比较乐观的！
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