还原炉中黄色泡沫状物质形成原因
在有的炉子出炉时,硅棒表面会附着一层黄色泡沫状物质怀疑是无定形硅,但不知是怎样形成的。
大家有没有遇到过这种情况?
硅油?
static/image/smiley/default/smile.gif
有遇到类似情况,同问,等待高手解答。 难道只有俺遇到了?? 黄色的,氮化硅?新手顶一下。 本帖最后由 wangli115 于 2011-10-15 08:49 编辑
发个照片看下,有几种原因,但看了图片才知道. 遇到过针形硅也有氮化硅甚至还有还原炉桶没洗干净的水解杂志硅 请问如何避免针形硅啊
页:
[1]