关于还原炉雾化问题

回味三国liu 发表于 2011-9-23 15:39:23

还原炉雾化的原因及会造成哪些现象？

明日的记忆 发表于 2011-9-23 16:41:49

雾化是因为发生三氯氢硅气相分解反应而造成的，会对硅的沉积速率产生影响

zirconium 发表于 2011-9-23 22:17:24

回复 2# 明日的记忆
雾化原因是什么？

hu5011 发表于 2011-9-24 19:50:28

反应温度高，混合气配比小，三氯氢硅分解

明日的记忆 发表于 2011-9-24 19:54:02

回复 3# zirconium
可能是进料中配比过大，还有温度可能没跟上，才使得三氯氢硅分解，在气相产生硅

chizhongjiao 发表于 2011-9-25 21:42:12

混合气配比不合适，或者含二氯二氢硅

zirconium 发表于 2011-9-29 23:03:22

回复 5# 明日的记忆
四楼说配比小，五楼说配比大，看来意见不一致。我问一下，你们所说的配比大，指的是三氯氢硅和氢气的比值大吗

yongdingli1987 发表于 2011-9-29 23:06:06

回复 7# zirconium
我们这边通常说的配比是指氢气与三氯氢硅的配比

明日的记忆 发表于 2011-10-8 19:02:26

回复 7# zirconium
就是三氯氢硅的量多了会产生雾化。

WHH881118 发表于 2011-10-15 18:59:01

有没有想过高温雾化与低温雾化

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