还原炉中产生硅粉
如题所说,还原炉中产生大量硅粉是什么原因,是到生长后期进料量大还是在停炉时候未能停好,希望各位大虾讨论下1主要是通料量大和氢气和三氯氢硅的比例不合适造成的 这个问题是这样造成的,1、首先要控制好TCS和氢气的比例。
2、是控制好还原的温度,温度过高和过低都不行,要在一定的范围(不说了),还原炉中的黑色粉末那叫不定型硅,还原炉在开始升温和停炉降温时,温度小样800度时,TCS裂解产生的不定型硅。 谢谢!学习啦!以前不知道是什么原因造成的! 这个主要是配比太小了,产生雾化,产出硅粉。
1,把氢气提大些
2,把温度控制适中 这个问题是这样造成的,1、首先要控制好TCS和氢气的比例。
2、是控制好还原的温度,温度过高和过低都不行, ...
luoye888 发表于 2011-3-18 15:16
登录/注册后可看大图
同意楼主说的,还有就是断料过快,残余的料没有完全反应 应该是出现雾化了 产生了无定形硅!! 回复 1# jarry0831
停炉的时候,H2太少,里面的TCS还没反应完全,电流不要降那么快。 就是三氯氢硅在较低温度下,生成的无定形硅 还原产生的硅粉带到尾气回收后,对压缩机有影响吗?怎么处理这些硅粉?
页:
[1]