waitmebt 发表于 2009-4-15 22:57:07

还原炉启炉操作要领

小弟新进多晶硅行业,对还原炉的启炉还不是非常明白,在这里和大伙儿共同讨论,一起学习学习哈

sdkjdxlhl 发表于 2011-10-31 14:11:09

还原炉的启炉重点个人认为两点:
1、通水,我们曾有过惨痛教训,启炉后未通水,结果导致钟罩过热受损,还好及时发现,没出现爆炸事故;
2、N2置换,置换必须侧地,否则一是由危险性,二是在硅芯击穿时易导致硅芯表面氧化。
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