多晶硅反应炉中反应机理的讨论
希望大家讨论一下改良西门子法中多晶硅还原反应炉中的反应机理，具体就是进料参数及控制，炉体尺寸及棒数，反应机理及各产物和未反应物的控制，各种控制下的沉积率，生长速率，每炉反应时间等等。仅是探讨，若涉及绝密，万勿透露。这个我好像问过了
但是么有回答的
机理可以查chemkin中编写程序时所涉及的一些讨论 会有一些收获 回复 2# ppqiner
朋友你好，你有chemkin模拟表面反应的机理或者相关文献吗，能不能发给我一份，我想用用chemkin算一下主反应的常数，可是输运数据查不到，恳请指点我一下，我邮箱wangenjunlulu@163.com，感激不尽！
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