hero123gaoli 发表于 2011-11-3 17:41:22

关于氢化的问题

请问热氢化中多晶硅的生成对于碳棒电阻的影响有多大？

yizhuxuan 发表于 2011-11-3 21:43:00

肯定会有影响，但是只是次要因素，不必过分考虑。
氮化硅的影响更大。
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