cjzhx123 发表于 2011-11-7 11:12:12

蓝色的应该是氮化硅，注意检查氮气是否内漏到炉桶里了

cjzhx123 发表于 2011-11-7 11:13:11

另外还看到了有彩色的东西，可能是形成了氧化硅，建议检查一下氢气露点

jiangkunrong1 发表于 2011-11-7 19:46:16

请问楼主这是不是调试时生产出来的硅棒？

807011220 发表于 2011-11-8 15:49:17

那是氧化硅在高温下的衍生物，应该要好好控制氮气含水。
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