mian726 发表于 2011-11-18 09:12:52

还原炉里面出现了黄色的粉末是怎么回事啊

黄色的一层粉末   只有一炉    后来的都很好的

yihui007 发表于 2011-11-18 16:08:29

(1)由于管道没有吹扫干净,刚开车物料润洗还不充分,导致管道中残留有较多的Fe,Fe与炉内的HCL反应,生成FeCl2或者其他金属氯化物附着在硅棒表面。(2)排除硅油可能。硅油一般附着在镜片、底盘等温度较低的部位,不会沉积在温度较高的硅棒上面。(3)排除不定型硅的可能,由于不定型硅的生成条件也需要相对较低的温度,一般会出现在炉壁或者底盘上面。因此,上述黄色硅棒由于管道没有清洗吹扫干净,导致以Fe为主的多种金属氯化物沉积导致。不妥之处,还望各位指教。
以前有类似帖子出现,仅供参考。
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