haoyoupeng 发表于 2011-11-18 11:07:14

还原尾气中的二氯二氢硅能否分离出来？

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-18 12:42 编辑
还原尾气中的二氯二氢硅是否分离出来？

xingxing916 发表于 2011-11-18 12:42:52

分离出来是可以的，但是要看你后面怎么处理

haoyoupeng 发表于 2011-11-18 12:54:08

我知道可以分离，是否有必要分离出来？

yzhang2010 发表于 2011-11-18 12:59:12

为什么要分呢？有必要分离出来吗？二氯二氢硅可以和三氯氢硅一起进还原炉啊~

liusuibian 发表于 2011-11-18 13:05:55

目前看来没有必要，对多晶硅没什么影响

da66qo 发表于 2011-11-18 13:33:02

分离式可以的，就像楼上的几位所说的，没有必要啊，毕竟进去还原炉也是可以反应生成多晶硅的，速率比TCS更快，何必分离呢？如果DCS另有用途哪就再说了

807011220 发表于 2011-11-19 16:19:04

可以分离，不过分离出来还是没有必要的，他有不影响还原的速度和质量啊。

mian726 发表于 2011-11-19 16:22:15

一起进还原炉   DCS蒸压很快   节省热能

zhjiboy 发表于 2011-11-19 17:25:48

请问不用分离DCS，那使用冷氢化工艺就可不用上反歧化了哟？
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