双塔轮换制氮和深冷制氮对比
在多晶硅生产工艺中常用的保护气体--氮气,其生产工艺根据其生产成本、产品质量以及系统的稳定性是双塔轮换制氮好还是深冷制氮好一些?请大家踊跃发言,我给奖励。哈哈!!双塔轮换制氮?你说的是PSA制氮吧,PSA达不到这种纯度的,能达到5个9以上的纯度投资也会大幅上升,所以一般会采用深冷法,但是流程就有很多选择了 碳分子筛变压吸附制氮纯度低,产品纯度在95%~99.99%,有多晶硅厂再用
深冷制氮纯度高,≥99.9997%,从常温到出合格产品要12小时+ 深冷制氮运行比其它办法运行要平稳得多,纯度也要高得多,不好的地方就是开车到达到合格纯度的氮气的时间比较长,一般都要十二个小时以上,而且检修特别麻烦,如果是深冷塔里出问题,检修至少都得三五天,甚至更长时间。
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