xzyamway 发表于 2011-4-19 16:16:58

还原炉内抽真空选真空泵

各位坛友，还原炉在运行前期和后期需要抽真空，为此选真空泵需要注意哪些事项，请大家畅所欲言 。

luoye888 发表于 2011-11-22 08:41:36

这个不好使用，对硅芯的影响大，主要是垂直度。

cjzhx123 发表于 2011-11-22 10:17:01

1.真空度肯定要达到要求，一般要求-0.09mpa，当然越低越好，可以减少还原炉内水汽和空气含量
2.要防止真空泵内的水汽，倒窜到管道内，造成水解堵塞管道，所以抽真空后，开放空管是有讲究的
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