arimashinji 发表于 2011-11-23 11:55:43

目前还原炉和氢化炉的供应商有哪些阿?

本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-23 13:17 编辑
Centrotherm算比较大的了吧,国内的也有几家在做,有没有熟悉的?
另外,还原炉和氢化炉是不是一对一的还是一个氢化炉可以对于N个还原炉?氢化炉里面的电极大概用多少个?

luoye888 发表于 2011-11-23 14:22:34

Centrotherm就是德国的SiTEc公司,不怎么的,国内有森松,双良做炉子,开源只能加工,国外的有,GT,MSA,
还原炉和氢化炉是不是一对一的还是一个氢化炉可以对于N个还原炉,这个问题就看你的TCS和STC的比例了,氢化炉的电极个数不缺的的,目前最多的有48个,与几对棒炉子有关,

自力更生 发表于 2011-11-23 14:45:13

C,国内的主要有双良、森松的,个人感觉森松的好点,国外GT的电耗比较低(40)。
另外,还原炉和氢化炉不需要一对一,氢化只是处理四氯化硅而已。谢谢

505 发表于 2011-11-23 16:36:20

国外的有德国的Centrotherm公司,MSA,美国的GT,意大利的VRV。国内有双良、森松、开元、中圣。还原炉和氢化炉一般来说不是一对一的。是要根据还原炉的多晶硅产量来计算副产的SiCl4量,再依据氢化炉的单台处理能力及设计转化率来确定其数量。在氢化炉大型化后,一般会选择一拖多的。

龙华夏 发表于 2011-11-23 17:08:12

另外还有赛福特的。我们用的森松的比较好点,双
根赛福特真不敢恭维。。

hilul418 发表于 2011-11-23 17:09:15

据说C的还原炉发生过爆炸,有知道的吗,事故原因是啥?
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