yihuiwuqin 发表于 2011-10-31 09:37:03

SICL4为什么会生成那么多？

请问哪位高手知道TCS进CVD反应炉反应后产生的SICL4国内的要比国外产生的多几倍，什么原因？

yizhuxuan 发表于 2011-11-17 17:32:21

1.首先，这个问题你应该调整一下提问方向，因为现在考虑的都是四氯化硅的转化率，你为何不问国内的还原转化率比国外的低呢。
2.其次，氢气的进气比会影响四氯化硅出口含量。

清冷紫玉 发表于 2011-11-30 22:58:33

版主能否讲的在明确一些，氢气流量大，就是配比大了，四氯化硅是增加了还是减少了，和温度没有关系吗

yizhuxuan 发表于 2011-12-1 09:47:55

版主能否讲的在明确一些，氢气流量大，就是配比大了，四氯化硅是增加了还是减少了，和温度没有关系吗
清冷紫玉 发表于 2011-11-30 22:58

                              
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温度，压力，摩尔比，甚至是三氯氢硅的杂质含量都会影响还原反应的进行，进而影响到三氯氢硅的转化率，从而影响四氯化硅的收率。
我前面只是稍微提了一点，你考虑的思路很正确。
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