怎么样做才能降低还原炉的电耗和提高还原炉的沉积速率？？
怎么样做才能降低还原炉的电耗和提高还原炉的沉积速率？？期待高手解答、、、、、、、 怎么样做才能降低还原炉的电耗和提高还原炉的沉积速率？？
回味三国liu 发表于 2011-12-2 17:07
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还原电耗的技改以前讨论过，建议LZ搜索一下帖子。大体上就是炉子改造以及废热利用之类的。
至于提高还原炉的沉积速率，其实也就是提高还原反应的反应速率，这个要展开讨论也是个大话题了，温度、压力、摩尔比都会影响的。
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