Sunjiafeng 发表于 2011-11-20 11:20:57

硅芯炉用氢气和氩气那个好啊

氢气危险。氩气安全。但成本高啊

whues 发表于 2011-12-5 18:56:35

我们用的氢气，听好多单位用的氮气启炉，不知道是从安全角度考虑的还是有其他原因，，愿闻其详，静待高手指 ...
龙华夏 发表于 2011-11-21 09:12

                              
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一些老的多晶硅厂，是用的N2启炉

qw573404649 发表于 2011-11-21 09:12:00

氩气比较好点，就是价格贵

zhuangjz 发表于 2011-12-5 17:01:07

三种气体都可以，关键是要能击穿、不到棒，同样要注意的就是不能忽略安全。

ucweb51 发表于 2011-12-4 22:27:24

氩气比较氢气来说较为稳定，而且氢气在加热时H-H键断裂形成活波的H粒子，会与硅料中的某些组份发生反应。我们一直用的是氩气

mzx365 发表于 2011-11-25 16:48:50

总体来说氩气好一些，就是贵
用氢气的话，硅芯比较脆，击穿时候容易倒（相对用氩气来说）

287789398 发表于 2011-11-24 15:48:24

回复 4# 龙华夏
j基本上不可能，因为氮气的纯度有限，
里面氧含量较高，用氮气启炉的话，硅表面会被氧化

飞翔的流体 发表于 2011-11-23 16:17:39

我们也是用氩气，想听一下用氮气的经验！

jianghwing123 发表于 2011-11-23 16:15:00

氩气用的比较多一些吧。安全些。。。

oceans998 发表于 2011-11-23 16:11:34

我们用的氢气，听好多单位用的氮气启炉，不知道是从安全角度考虑的还是有其他原因，，愿闻其详，静待高手指点。。
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