yqqym726 发表于 2011-12-13 14:19:41

还原炉内硅棒表面的各种颜色形成原因？

还原炉内硅棒表面的各种颜色形成原因？
1：黑色：
2：蓝色
3：彩色
4：黄色：
等等。。。。。。。。。。。。。。。。。。。！！！！！

zhangweicheng 发表于 2011-12-13 17:25:11

这种现象一般统称氧化，原因有多方面：1、原料中有氧（水）份；2、原料中HCL含量高；3、三氯氢硅与氢气比例不合适。等等，不一而足，区别对待。

453305634 发表于 2011-12-13 21:16:10

蓝色或彩色：氮化，黑色：物料内有水分 黄色：配比不合适，一般急停时黄色较多
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