虔诚的信徒 发表于 2011-11-20 15:02:26

在热氢化工艺生产过程中，多晶硅中的碳有哪些因素引起

我首先提两点：1、电解氢后的氢气中夹带的甲烷、一氧化碳等
                  2、还原炉的石墨卡瓣可能引入
                  3、氢化炉的石墨管也可能
                  4、CDI的吸附塔活性炭可能污染
其他的原因 希望各位坛友踊跃参与

yizhuxuan 发表于 2011-11-20 15:50:58

我首先提两点：1、电解氢后的氢气中夹带的甲烷、一氧化碳等
                  2、还原炉的石墨卡瓣可能 ...
虔诚的信徒 发表于 2011-11-20 15:02

                              
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    热氢化用的是碳棒，碳棒及其他石墨件是造成碳污染的罪魁。

虔诚的信徒 发表于 2011-11-20 15:02:00

表观性的影响大家都深有体会 但是具体的影响机理和控制手段 楼主可否单独探讨一下

yizhuxuan 发表于 2011-11-20 16:07:53

表观性的影响大家都深有体会 但是具体的影响机理和控制手段 楼主可否单独探讨一下
虔诚的信徒 发表于 2011-11-20 16:07

                              
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    热氢化技术现在讨论的人已经很少了。碳在热氢化转化炉中易与四氯化硅反应生成碳化硅。至于控制手段，关键还是要在碳棒以及其他石墨件的制作工艺上下工夫。

mian726 发表于 2011-11-20 17:47:47

热氢化中炉子用的是碳棒应该是这方面的情况

wsg123 发表于 2011-11-20 16:07:00

热氢化如何将碳含量降低

xingxing916 发表于 2011-11-20 23:18:21

C-C发热体的高温煅烧很关键，很易产生碳杂质的
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