三氯氢硅中硼的存在形式及含量比例
众所周知，硼主要是BCl3，还有其他化合物没有？重组分中有没有发现过硼？质检部门检测三氯氢硅中的硼时，听说是采用蒸发的形式，就是将三氯氢硅加热到一定温度，然后将三氯氢硅蒸发掉，再用其它试剂进行处理，最后用Mass检测残渣。蒸发的过程中，听说有的加入一部分络合剂，络合剂具体是什么物质？加入进去会发生什么反应？形成什么物质，沸点多少？
还有的直接蒸发，络合剂也不加入，那BCl3沸点12.5度，早就挥发没了，测出来的结果还是实际硼含量不？
问题比较多，麻烦知道的讨论一下，共同进步！
目前的ICP-MS技术可以完成对元素周期表上绝大多数元素的pptw甚至亚pptw级分析，不需要大剂量地浓缩样品；仪器的高分辨率以及更加简单的样品制备方法使分析数据的准确性进一步提高。对硼的检测限
进一步降低；同时其样品处理、仪器操作及数据处理也变得更加准确、简便。据资料介绍， 瓦克、三菱及美国先进硅公司等世界上几家多晶硅公司采用了ICP-MS仪器. 三氯化硼沸点比二氯二氢硅高点在DCS液层下面 除非你把DCS全部排尽
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