xinmixiaozi 发表于 2011-4-15 18:26:50

硅芯料出现黑点的处理方法及分析

前段时间，我在运行一台生产硅芯料的还原炉时发现，硅棒表面有黑点，我的处置方法是：
一，多提电流，升高温度
二，减少混合气流量，同时增加氢气流量，提高配比
结果，两个小时后，黑点消失，鉴于黑点消失，我又提高混合气流量，减少氢气流量，结果有出现了黑点
分析；
当时混合气进料量不大，出现黑点点原因是液态料进入还原炉，并且硅棒温度控制的不高，产生了无定形硅，也就是黑点。
通过提高配比，提高温度，抑制了产生无定形硅的产生

luoye888 发表于 2011-4-15 18:56:40

这种说法有道理的，我们也就是这样处理的

梦凡人 发表于 2011-4-15 19:17:54

回复 2# luoye888
你说的是一种原因，还可能是炉壁清理不干净造成。再看一下是不是碳粉、不可能是无定性硅的。

xinmixiaozi 发表于 2011-4-17 18:15:58

不是炉桶不干净造成的，因为我升电流，和提配比后，黑点消失了，再次将配比和控制较低的温度黑点又出现了

炸你象猪头 发表于 2011-12-21 20:06:17

楼主,就是你说的那个原因, 温度低了,同时TCS与H2配比过大,造成直接分解成不定形硅了,
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