多晶硅工艺【每日一题】2011.12.26
本帖最后由 yizhuxuan 于 2011-12-28 08:08 编辑今日【每日一题】关于多晶硅合成工艺判断题
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多晶硅版谨祝各位坛友圣诞快乐、事事顺心!
1、氯化氢在干燥状态下同样对金属具
有极强的腐蚀性
反应。
2、游离
氯的控制
是通过HCl合成炉反应时,
氢气
有一定的
过量来实现的。
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