hj9909 发表于 2008-3-21 09:47:56

多晶硅工艺中的设备材质如何选择

多晶硅工艺中的设备材质如何选择目前查的资料中,显示
多晶硅
工艺中氯化氢气体在200度高温下5bar压力下与硅粉进行接触.
想请问高手,在选择相关设备的时候,如何挑选材质?
考虑到氯化氢气体有腐蚀性,酸性, 硅粉本身有磨蚀性,且压力和温度都不低, 似乎一般的不锈钢无法胜任这样的工作条件.
如何选择比较经济, 又能确保稳定使用的材质?

TIGER 发表于 2008-4-9 14:06:05

除CVD还原炉出口等少数高温材料外，大部分采用不锈钢。

小薛 发表于 2008-4-9 15:04:41

氯化氢在无水的情况下就不具备腐蚀性，只要保证硅粉和氯化氢无水，材质用碳钢就可以

mian726 发表于 2012-1-6 21:56:06

同意碳钢的   16Mn或Q345R

yizhuxuan 发表于 2012-1-6 22:34:24

氯化氢在无水的情况下就不具备腐蚀性，只要保证硅粉和氯化氢无水，材质用碳钢就可以
小薛 发表于 2008-4-9 15:04

                              
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在考虑HCl腐蚀的同时，还要考虑高压环境问题，一般反应器都用316或者是800H的，

mian726 发表于 2008-4-9 15:04:00

基本上除了还原其它的碳钢的就可以

mian726 发表于 2012-1-6 22:49:32

重要部件还是用不锈钢的   次要的碳钢的

gushuang 发表于 2012-1-6 22:50:10

在考虑HCl腐蚀的同时，还要考虑高压环境问题，一般反应器都用316或者是800H的，
yizhuxuan 发表于 2012-1-6 22:34

                              
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    这个是冷氢化的情况吧，TCS合成应该用不到这么好的材料

pippenjoe 发表于 2012-1-7 17:49:43

氯化氢在无水的情况下就不具备腐蚀性，只要保证硅粉和氯化氢无水，材质用碳钢就可以那如果有点漏水呢？
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