fmch6605 发表于 2009-7-27 13:47:20

生产三氯氢硅用氯化氢中允许的有机物最高浓度是多少

本帖最后由 fuwasi 于 2012-1-10 08:09 编辑
哪位高手知道生产三氯氢硅用氯化氢中允许的有机物最高浓度是多少吗？谢谢了！

zjiris 发表于 2009-7-27 14:39:48

正常没有要求的。请问你们HCl的来源是什么？

zhouqm 发表于 2009-7-27 14:53:15

对于生产电子级多晶硅三氯氢硅用氯化氢是有指标要求，具体可参见SCC提供数据

zhouqm 发表于 2009-7-27 15:25:20

刚才查了一下，《1PPM

fmch6605 发表于 2009-8-7 21:03:01

4# zhouqm
不会吧？要求这么高啊？我们的氯化氢是甲烷氯化物的尾气，其中甲烷类有机物含量在54ppm左右。

zhouqm 发表于 2009-8-7 23:39:05

4# zhouqm
不会吧？要求这么高啊？我们的氯化氢是甲烷氯化物的尾气，其中甲烷类有机物含量在54ppm左右。
fmch6605 发表于 2009-8-7 21:03

                              
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国内对HCL中指标一直没有完整规范要求，而国外对每一个环节均有明细规定。无论是生产太阳能级、电子级多晶硅，要求最终产品纯度越高、电阻率越高。对于HCL此环节含碳指标就是《1PPM.国内企业都应该具备此理念-----质量是基础。

fmch6605 发表于 2009-8-7 21:03:00

那我们单位的甲烷氯化物尾气就不能用了吗？哪位坛友有什么处理办法吗？谢谢！

mian726 发表于 2009-8-14 10:15:50

我们的氯化氢是甲烷氯化物的尾气，其中甲烷类有机物含量在54ppm左右。

davide100 发表于 2012-1-9 22:57:02

回复 8# mian726
可以加一套气体净化装置.

炸你象猪头 发表于 2012-1-10 08:52:27

我觉得1ppm根本就没有依据,就是主观脑袋一拍就定下的,
多晶硅里面采用热氢化的,如果对氢化循环氢气做过检测的话应该都知道那里面的甲烷含量一般都在200ppm,甚至更高,甲烷和氯甲烷在系统里面的影响的本质区别又有多少呢?
再说,氢气制备的用天然气制氢,那又怎么生产多晶硅呢?
所以针对不同的特定情况,需要制定特定的方法来进行补救很重要,用氯甲烷的尾气,合成为三氯氢硅后,重点是去除甲基氯硅烷.这点完全可以在精馏工序去除掉.只要你在精馏设计的时候与设计院说明情况,考虑好甲基氯硅烷的控制.
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