请教如何控制多晶硅n、p型
本帖最后由 xingxing916 于 2012-1-18 14:32 编辑意思就是通过产品b、p值工艺如何调整保证产品中b、p大小
就是想宏观的了解那些方式调整和监控产品向n或p型控制 半导体的N、P型取决于掺杂元素,参磷时为N型,掺硼时为P型。N为negative,P为positive 我问的是具体工艺控制或者调整 例如正常工艺下通过产品得出p或者b高后的调整方向 及原因 你可以通过精馏提纯进行控制 精馏后期料的杂质分析检测巳无法准确分析 而且料中包括回收料混合 如何判断其符合要求 改良西门子法除硼容易还是磷 为什么? 我发现楼主对P、B杂质的去除一直没搞去除吧。
其实,生产中,只能大致上搞去除原理,你想从宏观具体到微观,去了解一点一滴,太花时间了,搞科研的也许科研。
P、B杂质各工段都有涉及,主要还要精馏段加以控制,由于B的存在形式以及物化性质,B在精馏段的除杂比P要困难一些。
本版对于P、B杂质的主题还是比较多的,你可以搜索一下,研究一下。
本人对质量控制小有心得,可惜没得用武之处,精馏阶段主要除B,除P容易些,后期主控制除P,至于为什么,不能告诉你。
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控制好B\P的比例就能控制产品是P型还是N型,而且可以保证产品绝对是电子级以上。
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