tzy_nj_china 发表于 2011-10-19 16:44:25

谁知道硅烷法用CVD还原炉与改良西门子法CVD还原炉在结构上的区别！

本帖最后由 wangli115 于 2011-11-18 10:48 编辑
1、谁知道硅烷法用CVD还原炉与改良西门子法CVD还原炉在结构上的区别？
2、还有流化床有什么特殊的结构？

xingxing916 发表于 2011-11-18 10:43:09

建议你把你的问题分成两个主题，这样更加清晰

ayst123 发表于 2011-11-19 17:15:20

有无硅油套的区别。

mian726 发表于 2011-11-19 18:57:04

最大的区别就是硅烷法用的是碳芯   西门子用的是硅芯

mian726 发表于 2012-1-6 21:08:05

中宁和六九的来吹个泡泡   流化床和还原炉

wzfrank 发表于 2012-2-7 16:05:44

   楼上的朋友不懂不要吓说，

luoye888 发表于 2012-2-7 17:32:31

区别挺大的，以上说的都不对，硅烷法的炉子和西门子的炉子区别在于，硅烷法的炉子每一对硅棒有个小钟罩，外面在来个大的钟罩，
第二飞、歌就不知道了
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