gas110 发表于 2011-11-3 21:13:55

硅棒生长后期产生黄色的原因

本帖最后由 gas110 于 2011-11-4 14:24 编辑
大家指教 黄色是什么物质如何控制

lgl102110 发表于 2011-11-4 12:09:10

这是非晶硅,温度控制不好就会出现这种情况。另外,你们这个是24对棒的?

华岭 发表于 2011-11-4 12:30:32

貌似24对棒炉子,停炉时操作不当,低温残留物料附着,边缘还有硅油分界圈圈。

gas110 发表于 2011-11-4 14:34:28

回复 3# 华岭
    怎么避免此问题具体点

kitewxg 发表于 2011-11-4 15:41:16

个人认为主要原因为(1)由于管道没有吹扫干净,刚开车物料润洗还不充分,导致管道中残留有较多的Fe,Fe与炉内的HCL反应,生成FeCl2或者其他金属氯化物附着在硅棒表面。(2)排除硅油可能。硅油一般附着在镜片、底盘等温度较低的部位,不会沉积在温度较高的硅棒上面。(3)排除不定型硅的可能,由于不定型硅的生成条件也需要相对较低的温度,一般会出现在炉壁或者底盘上面。因此,上述黄色硅棒由于管道没有清洗吹扫干净,导致以Fe为主的多种金属氯化物沉积导致。不妥之处,还望各位指教。

gas110 发表于 2011-11-5 09:53:39

回复 5# kitewxg
    管道已经投入运行很长时间怎么会出扫不干净呢

hero123gaoli 发表于 2011-11-5 14:12:13

根据我的经验这是硅油。不一定在倒棒的时候才产生,如果的棒子出熔化,就是电流曲线出现毛刺,你就要小心了,局部的温度不平衡很可能长硅油。我们公司以前遇到这样的情况很多,但后来克服了。

novoland1 发表于 2011-11-7 10:55:15

回复 5# kitewxg
如果是铁的话,那在初期以及棒的底部应该也会有,同时这些黄色的外层应该是在降温期间生成的,所以我倒是更认为是无定形硅沉积。
而且是不是铁的影响,敲开硅棒就知道了,铁的影响是一直存在的,断面也能判断出来

jiangkunrong1 发表于 2011-11-7 19:52:09

回复 6# gas110
    请问管道投入运行很久,是不是这个还原炉以前都生产很正常用,突然出现了这种现象?

jjb4598083 发表于 2011-11-7 20:35:20

停炉的时候产生的吧 氢气多吹会 这个检验料??
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