baianidt 发表于 2012-2-10 10:17:38

还原电极水温控制多少合适？

与大家讨论一下，还原电极冷却水的上水温度控制在多少合适？水温太高对电极密封材料肯定不好，如果温度低了，会影响石墨夹头处硅棒的生长，各位朋友都晒下你们厂控制在多少度左右。

lerhong 发表于 2012-2-10 11:32:13

这个不好说吧！还原炉有大有小，

baianidt 发表于 2012-2-10 12:23:14


lerhong 发表于 2012-2-10 11:32

                              
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这个不好说吧！还原炉有大有小，
电极冷却水温度应该无关还原炉的大小，硅棒的对数吧?

xinmixiaozi 发表于 2012-2-10 11:32:00

我认为不用考虑电极水温度对硅棒的生长吧，这个影响很小的，可以忽略，倒是地盘水的温度对生长的影响更大点。我们的电极水流量是不调节的，开始温度低些，到后期温度高些，只要不气化，能保护好电极四氟套就好

baianidt 发表于 2012-2-10 12:37:54


xinmixiaozi 发表于 2012-2-10 12:37

                              
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我认为不用考虑电极水温度对硅棒的生长吧，这个影响很小的，可以忽略，倒是地盘水的温度对生长的影响更大点 ...
电极冷却水一般来说对硅棒生长影响不大，但我认为对石墨夹头附近的硅棒生长有一定的影响，如果这里温度低，长得慢的话，就有可能会造成亮环倒炉。

mzx365 发表于 2012-2-10 13:31:46

我们电极水是35℃左右啊。底盘水50°左右。。

dclpl 发表于 2012-2-10 12:37:00

由于各家的还原炉不同，因此参数也有所不同，一般电极水是35℃-45℃左右。底盘水40℃-60℃左右。还原电极水对硅棒的生长影响较小，底盘冷却水对还原炉内硅棒的影响较大。
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