出炉时,发现硅芯很容易就从硅棒剥离的情况,是什么原因造成的?
出炉时,发现硅芯和硅棒分离是什么原因?即:出炉时,发现硅芯很容易就从硅棒剥离的情况。楼主所说的情况可称为是夹层,如果是整根硅棒都可以剥离的话可能是由于进料温度太低导致的,也有可能是进料太快,导致的硅芯瞬间降温。 夹层吧,进料时硅芯脏,或者进料时温度降低太快 不完全是温度夹层,还可能是氧化夹层,硅芯表面氧化了,可能是料的问题,也可能是置换问题 氮气保压时硅芯温度太高形成氮化层 大致有四个原因,一是硅芯被尾气污染了形成彩芯而脱芯,二是氮气氛围下温度偏高形成氮化层,三是空烧温度不够,或者时间不够,四是进料瞬间流量偏大,导致温度骤降。至于氧化夹层不太可能的,只要压力测试后再置换一下就ok了。
如果还有其他原因,请各位畅所欲言··· 这个玩意不是夹层么 有可能是温度夹层有可能是氧化夹层 温度夹层的话进料电流多加 提高硅芯表面温度 缓慢进料 氧化夹层的话从置换硅芯方面找原因 很赞成六楼的说法 同意6楼的楼主的答案;还有硅心表面有污染。 表面有污染,可能是氧化了。也可能启炉是温度较低。
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