fuwasi 发表于 2011-8-10 08:20:37

还原尾气回收的氢气纯度怎么样

还原尾气回收的氢气纯度能做到什么样，其中有哪些有害杂质，是怎么产生的，大家可以一起讨论讨论，共同研究。

king2401 发表于 2011-8-10 08:41:53

本帖最后由 king2401 于 2011-8-10 09:04 编辑
99%以上
有害杂质
氮气：高温和硅反应生成氮化硅，黄色。主要是置换不彻底，或则与物料系统相连的紧急加N管道微漏
甲烷：高温和硅反应生成碳化硅。 主要氢气和石墨夹头反应生成，尤其是热氢化和还原尾气没有分开
氯化氢：氯化氢是反应副产物，腐蚀管道，且抑制生成硅的反应，降到转化率，所以尾气处理加变压吸附就是为了比较彻底的除去氯化氢

pengchuan 发表于 2011-8-10 08:58:22

单纯的氯化氢气体不会腐蚀管道吧？

fuwasi 发表于 2011-8-10 17:11:44

回复 2# king2401
    氢气含量99%以上，那主要杂质含量分别是多少？氯化氢含量大概是多少？

情合赢 发表于 2011-8-10 19:42:10

这个含量不一定的，看你们的系统运行情况，不过都是ppm级的，关键是你们的氯化氢吸附塔要设计好，吸附能力要足够大，不然遇到氢气放空的时候到处是一片妖气，害死人了。

fuwasi 发表于 2011-8-11 08:07:57

回复 5# 情合赢
    ppm级的杂质对还原系统也是有影响的。

情合赢 发表于 2011-8-11 11:47:03

回复 6# fuwasi
少量的氯化氢，未进三氯氢硅，对硅芯是有好处的，因为硅芯表面多少都会有一层氧化物或氮化物，氯化氢可以将表面腐蚀一下，然后再进料沉积，不过氯化氢的量就需要你们去研究了
，

fuwasi 发表于 2011-8-11 16:07:27

回复 7# 情合赢
    用氯化氢来腐蚀？在什么条件下发生什么反应？

ynslyjb 发表于 2011-8-15 14:13:54

回复 2# king2401
    氮气：高温和硅反应生成氮化硅，黄色。
质疑哦，氮气是黄色的嘛，会参与反应么？

theautumnwind 发表于 2011-8-17 14:44:15

含有甲烷，对硅棒品质也许有影响
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