505 发表于 2012-1-20 14:57:58

36对棒还原炉电极分布采用同心圆分布好还是蜂窝状分布好?

还原炉大型化后,电极的分布方式也多样化,目前国内主要有同心圆与蜂窝状两种分布方式,各有何优缺点,望各位同仁各抒己见。

yuehan 发表于 2012-1-21 14:23:28

蜂窝状布置无法用机械手拆棒,同心圆布置用机械手拆棒比较容易

光光 发表于 2012-1-29 11:25:04

关键是还原炉的性能,我想拆棒能否手工,不是问题。

yizhuxuan 发表于 2012-1-29 12:27:48


光光 发表于 2012-1-29 11:25

                              
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关键是还原炉的性能,我想拆棒能否手工,不是问题。
性能方面,主要是炉子棒子的数目问题吧,和具体布置关系不大,只要均匀,比如同心圆和蜂窝。

luoye888 发表于 2012-1-29 11:25:00

这个主要是从一下几个个方面来考虑:
1、流长和温场,这样从流体力学和热力学上来分析,只要有利于与 硅棒的生长,就合理,2种都可以的。
2.设备的加工方面考虑。
3.设备、硅芯的安装和拆炉的方便,这个就是时间的问题了。

mian726 发表于 2012-1-29 19:55:27

个人觉得同心圆的比较好   拆的时候也容易

tongyao 发表于 2012-2-22 20:53:37

蜂窝状是什么样子的呢,那位高人提示一下

tzy_nj_china 发表于 2012-2-24 12:29:43

顾名思义一下嘛,马蜂或蜜蜂的窝那样的,正六边形
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