lerhong 发表于 2012-2-10 14:14:55

还原炉沉积速率问题

本帖最后由 xingxing916 于 2012-2-13 16:55 编辑
怎么样提高沉积速率？该怎么计算？受哪些因素的影响？

mian726 发表于 2012-2-12 13:59:57

压力温度进料量等

xzcsunny 发表于 2012-2-20 02:54:05

还有物料配比 至于计算 过于麻烦

dclpl 发表于 2012-2-21 15:27:03

与还原炉的操作压力、工作温度及进料量的配比都有一定的关系，但在实际操作中，可能不会一味的追求沉积速率，他有一个折中点，当沉积速率超过一定值的情况下，还原炉的电耗肯定就高了，导致多晶硅单耗增加。这需在实践中慢慢摸索。

程海川 发表于 2012-2-24 19:35:06

沉积速率这问题跟你的料量和配比还有温度还有。。。我觉得这是各方面的问题
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