JJ2009 发表于 2009-12-15 15:36:54

硅烷法生产多晶硅工艺硅烷提纯多采用什么工艺

硅烷法生产多晶硅工艺硅烷提纯多采用什么工艺,麻烦多给讲解一下.

limeng830505 发表于 2012-2-27 16:31:38

加压，降温，将硅烷变为液态，在采用精馏的方法，即传统又简单

ayst123 发表于 2012-2-29 11:33:58

将硅烷压缩，逐级冷却至液态，根据硅烷中杂质沸点的不同进行低沸点、高沸点精馏，用4a分子筛进行过滤

luoye888 发表于 2012-3-1 17:15:54

这个一般采用低温提纯，冷媒采用液氮

cnslgw 发表于 2012-3-7 16:53:40

都是传说！有这么简单就好了。
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