还原炉启炉硅芯弯曲原因
我们在启炉后,硅芯会弯曲,不知道高手们有无碰到此类现象?大家有何见解啊本帖最后由 wangli115 于 2011-9-28 10:23 编辑
电流控制如何?硅芯品质怎样?LZ回去查一下 楼主应该更加详细点 硅芯在装的时候是直的,但高压击穿后有的在炉内就发生弯曲了,有时候会发现硅芯中空了 新现象,没见过,看高手,闻其详。。。 电流过高,导致温度过高溶化变形 电流过高,导致温度过高溶化变形,可能是电流失控所致。 装炉时棒没有卡好吗 要想问题判断准确,按理应将当时操作过程详细叙说清楚,方能供大家分析判断,但是本人还是倾向于6楼的判断!
期待LZ的最终结果哦! 本帖最后由 wangli115 于 2011-9-28 10:26 编辑
内部电流比表面温度高的太多了,硅芯温度分布均匀性不好吧!
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