xiangzi152634 发表于 2012-3-8 16:01:54

三氯氢硅反应受压力变化影响吗？

三氯氢硅反应受压力变化影响吗？如果影响具体说明下，我们现在准备要增加沸腾炉压力，该怎么具体调整工艺？

zw1902 发表于 2012-3-9 22:33:35

本帖最后由 zw1902 于 2012-3-9 22:35 编辑
三氯氢硅合成是体积减小的反应，加压有利于反应进行，增加合成炉压力，需要气源压力和压差都增长上去，系统压力增加了，除尘系统，冷却系统冷媒使用都该做相应调整吧，具体情况期待高手解决，呵呵，我们以前也是低压，准备上高压，但是前期肯定是低压，所以也期待高压运行的前辈介绍点经验！

wqing123456 发表于 2012-3-14 20:29:10

加压沸腾法非常容易出现问题，建议采用低压沸腾，压力在1.5公斤左右最好

fuwasi 发表于 2012-3-15 13:57:22

整个系统提压会牵涉到很多问题，需要一一解决。从硅粉的输送、设备选型、系统压差等等都需要重新核算。

xingxing916 发表于 2012-3-15 14:05:08

同意楼上的看法，系统问题
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