zhaixing2006 发表于 2012-4-13 16:03:54

三氯氢硅尾气处理用干法吸收好还是用吸附好？

各位还有：
            三氯氢硅尾气含量约三氯氢硅3.68，四氯化硅0.07，氯化氢12.59，氢气82.78，氮气3，都是体积分数，每小时约1800标立；
          要求：想使氯硅烷和氯化氢循环回到合成炉使用，氢气提纯出来去他用，纯度97%以上即可
         现在两种方法处理：
          第一种：变压吸附就不多说了，估计投资要700万左右；
          第二种：用四氯化硅在高压低温下吸收氯化氢和氯硅烷气体，然后在解析通往合成炉使用，这种投资暂时不清楚。
   请问哪一种效果好？那位朋友有关于第二种的参数可以说下么？本人不尽感谢。

lcx8642 发表于 2012-4-14 13:19:41

你好 我可以帮你提供一些帮助 但是涉及一些东西只能邮件联系了

woliaibo 发表于 2012-4-14 15:43:11

吸收要发生化学反应，吸附只发生物理反应。看你厂的工艺适合用哪一种了。

mian726 发表于 2012-4-14 16:06:34

一般都是吸收
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