多晶硅应力如何消除

zax1102 发表于 2012-3-31 12:18:24

请教各位大侠，如何消除多晶硅棒的内应力啊，我们生产的多晶硅棒在出炉之后，切割过程中都会出现裂纹甚至破裂的现象。有哪些原因造成这个现象，有什么方法可以解决吗？

hhe6956662 发表于 2012-3-31 12:19:30

控制冷却温度，单位时间内温度变化不应过大。

slower 发表于 2012-4-1 20:53:27

或许让晶粒长得更大一点会减轻破裂的可能性，但是晶粒太大会使应力集中，特别是在切割刀具不理想的情况下，容易破裂；晶粒小一点，可以让内应力更有效的释放。这个问题真的有点矛盾，不知该如何把握。

kzqj2000000 发表于 2012-4-2 19:36:01

控制好停炉降温速度，请注意800-400度温度区是应力发生最活跃温度段，在这一段里一定要控制好。

luoye888 发表于 2012-4-3 08:01:40

这个主要热应力集中的问题，在还原炉降温时，温度梯度不要太大，同时降温时间不要太短。

zax1102 发表于 2012-5-9 16:35:05

大家都知道降温的速度不要太快，温度梯度不要太大，但是如何保证硅棒内外的温度梯度不要太大呢？通电流想当于是内加热，我们检测的是硅棒表面的温度。其中的温度差无法确定

页: [1]

大化工论坛's Archiver