隐身猪 发表于 2011-4-21 08:52:11

氢化炉绝缘问题

陶瓷环的密封不好，如何解决？

人有傲气 发表于 2011-4-21 09:43:28

把你的问题说明白些，是电极绝缘吗？

rabbit-xiu 发表于 2011-5-2 19:58:58

有没有办法可以增强陶瓷环的密封效果呢?

siyufusu 发表于 2011-5-21 00:09:44

本帖最后由 siyufusu 于 2011-5-23 23:00 编辑
厂家直销多晶硅还原炉，氢化炉四氟绝缘套。
有需要联系siyufusu@126.com

popjason 发表于 2011-5-22 12:27:21

回复 5# siyufusu
    是不是由于硅粉的沉积导致绝缘性能下降，请将问题提清楚些

rabbit-xiu 发表于 2011-4-19 23:50:52


车间最近经常因为氢化炉绝缘下降而跳停，我们这前用的是四氟套，现在用的是陶瓷环

zhm638 发表于 2012-5-16 22:53:05

我们也是的，呵呵 天天擦电极啊！累
就是沉积的一些硅粉等东西导致绝缘下降的吧！
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