pwj1985 发表于 2012-5-22 09:04:05

温度对多晶硅质量的影响

小弟不才，请教各位坛友，温度对多晶硅的质量有什么影响？

dajiahigh 发表于 2012-5-22 11:19:09

第一：温度低了，降低反应效率，增加消耗；
第二：温度高了，首先容易融硅，造成中途停炉，带来产量损失或者外观情况不好，影响外观质量；另外，温度高了，不利于物料中B,P杂志的析出，对产品质量造成影响。

pwj1985 发表于 2012-5-22 12:32:04

最近在我们的生产过程中，出现了回收料和合成料生产的硅的质量明显差异的现象。而我们精馏送出去的氯硅烷的质量在合成和回收方面并没有明显的差异。但是他们还原在用合成和回收料做实验的时候，还原炉的反应温度用回收料的时候要不回收料的温度要低（为了防止雾化）。所以，我就考虑是不是反应温度对我们的硅的质量产生了影响。

123419628 发表于 2012-5-22 16:59:43

多晶硅组分的影响因素重在于精馏，而温度对外观质量的影响很大，温度过高爆米花很严重，过低表面较光滑，但会影响沉积随度，所以必须掌握好这直接的平衡点
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