千寻卫子 发表于 2012-5-25 11:00:57


shehong 发表于 2012-5-25 10:58

                              
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网上查找了一下资料,请给位指点哈!我也是一个菜鸟,嘻嘻。
大家相互学习,多多交流,相信一定会有很大收获的!

硅儿子 发表于 2012-5-25 10:58:00

虽然目前我们的高压启动比较顺利、但我对新光那个等离子启动还是比较感兴趣,没用过、谁有相关资料介绍蛤嘛、

sxndi 发表于 2012-5-28 00:26:44

1 高压启动 优点:方便快捷,污染小;缺点:投资多,容易击穿电极水管,烧毁四氟套,危险等;
2 预热启动 加热器常见为金属管加热器,玻璃灯管(太贵易脆)加热器,石墨棒加热器(污染大,仅见峨眉半导体材料厂使用,但是较为快捷方便),优点:投资小 缺点:操作不方便,空气容易进入还原炉,员工工足量大,同是具有一定的危险性
推荐使用高压启动 四川英杰系统不错 德国AEG太贵
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查看完整版本: 还原炉预启动方式问题