生长初期硅芯底部出现亮点大家都怎么处理
请教下在生长初期的硅芯经常出现亮点,大家都怎么处理啊,那个亮点是怎样形成的?同问 击穿初期,接触不良,产生电弧,正常现象。关键是后来生长过程出现的亮点值得注意。 接触不好导致的,如果不是太多,也不是很大,不用多管,正常提温度,通料。过两三个小时就没事了
yuweihua1983 发表于 2012-3-7 10:52
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击穿初期,接触不良,产生电弧,正常现象。关键是后来生长过程出现的亮点值得注意。
假如在正常生产过程中出现亮点,该如何处理?
起炉时有亮点很正常额、量产硅芯和石墨件基本做不到面接触。有点小亮点是很正常的,一般进气两三个小时就修复的差不多了。需要注意的是那种大亮斑和亮环,有可能是硅芯断了,这种情况的处理方法一般是小气量时稳定几小时,不管亮点修复没修复都继续接着稳定之前的气量走。因为如果是可以挽回的那种基本就没什么问题了,如果是那种断的很彻底,甚至有点移位的,那修复时间太长了,不划算,而且也有运气的因数,没必要浪费时间,早倒早拆炉。。。
这个亮点看在什么时候,如果是初期的亮点我们要消除就是迅速升温和控制流量 我就喜欢看到亮点 一点事情都没有楼主您多虑了!!
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